Фамилия образована от мужского имени Захарий, которое может являться:

– церковнославянским именем. Это имя берёт начало от древнееврейского «закарья» – «Бог вспомнил»;   

– производной формой имени Захар: добавление окончания -ий – один из способов формирования нового имени. Имя Захарий – результат модификации церковнославянского имени Захария, что наглядно просматривается на этимологической цепочке образования нового имени от прежнего, а от него – фамилии: ЗАХАРИЙ < Захарий < Захар < Захария. Каноническое имя Захария берёт начало от древнееврейского «закарья» – «Бог вспомнил». РПЦ определяет первоисточник образования имени со значением «память Господня» еврейского происхождения.   

В результате исторического процесса имена и прозвища наших предков постепенно приобрели те стандартные формы, которые мы сейчас называем фамилиями. Однако не все фамилии прошли стандартизацию. И сейчас у русского населения встречаются фамилии в виде застывших личных имён, отчеств, прозвищ. 

Ударение в фамилии не регламентируется правилами русского языка, но для отличия фамилии от имени или прозвища ударение, как правило, переносят на другой слог. И всё-таки, ударение лучше уточнить у носителя фамилии.

Женская форма фамилии – ЗАХАРИЙ.

ЗАХАРИЙ Юрий Иванович.

Участник Великой Отечественной войны. 

Читать по теме:

- См. Библиография. 1.  

- См. Библиография. 4. Стр. 123.

- См. Библиография. 6. Часть 3, стр. 202.

- См. Происхождение фамилий. 2.7., 3.1., 4., 4.1., 4.1.6.