Фамилия образована от церковнославянского мужского имени Захария, которое берёт начало от древнееврейского «закарья» – «Бог вспомнил». РПЦ определяет первоисточник образования имени со значением «память Господня» еврейского происхождения. 

В результате исторического процесса имена и прозвища наших предков постепенно приобрели те стандартные формы, которые мы сейчас называем фамилиями. Однако не все фамилии прошли стандартизацию. И сейчас у русского населения встречаются фамилии в виде застывших личных имён, отчеств, прозвищ.                                                           

Ударение в фамилии не регламентируется правилами русского языка, но для отличия фамилии от имени или прозвища ударение, как правило, переносят на другой слог. И всё-таки, ударение лучше уточнить у носителя фамилии.

Женская форма фамилии – ЗАХАРИЯ.

ЗАХАРИЯ Мирон Яковлевич. 

Жертва политических репрессий. Источник: Книга памяти Республики Коми.

Читать по теме:

- См. Библиография. 1.  

- См. Библиография. 2. Стр. 115. 

- См. Библиография. 4. Стр. 123.

- См. Происхождение фамилий. 2.7., 3.1.